产品详情
标准配置：
1. SS316 不锈钢柔性高压 LCO2 进液管线，3.0 m（无尘室）（其他长度可根据要求订做，最长可达30 米）
2. 外置 LCO2 两级过滤装置（去油/水及 0.1μm 以上颗粒物）
3. 用于吹扫、排气、放空的防静电管线
4. 备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2）
5. 样品室内环 4", 3", 2", 1.25"，可适配不同直径晶圆
6. HF 相容晶圆架 4", 3", 2"及 10mm 方形样品架，每个支架最多可放置 5 片晶圆或样品
7. 安装工具
8. 用户说明书及数据表
9. 两年质保及终生免费技术支持
合作单位