产品详情
标准配置：
1.SS316不锈钢柔性高压LCO2进液管线，3.0 m（无尘室）（其他长度可根据要求订做，最长可达30米）；
2.外置LCO2两级过滤装置（去油/水及0.1μm以上颗粒物）；
3.用于吹扫、排气、放空的防静电管线；
4.备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2）；
5.样品室内环， 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2", 1.25"，可适配不同直径晶圆
6.HF相容晶圆架6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2"及10mm方形样品架，每个支架最多可放置5片晶圆或样品；
7.安装工具；
8.用户说明书及数据表；
9.两年质保及终生免费技术支持。
合作单位