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PRINCIPLE OF SUPERCRITICAL POINT DRYING
超临界干燥原理
在超临界状态下，二氧化碳是一种介于气体和液体之间的均匀的流体。这种流体兼具液体和气体的双重特性：粘度接近气体，扩散系数为一般液体的10倍，其传质速率快；密度接近液体，因此有很强的溶解能力。由于不存在气-液界面，也就不存在毛细作用，因此在干燥过程中不会引起凝胶体、多孔材料、生物标本和MEMS器件的收缩和结构的破坏，直至全部流体都从凝胶中排出，最后得到充满气体的，具有纳米孔结构的材料。
  • 产品特点
  • 产品参数

a)     LCD高清触摸屏；

b)     不适用于无尘室；

c)     手动、自动、循环和预设模式;

d)     可用于 SEM、TEM等多种样品处理；

e)     循环模式可设置CO2置换次数，适用于凝胶类等较难干燥样品；

f)      内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；

g)     慢速冲液功能，适用于各种易损样品；

h)     样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态；

i)      内置过滤系统，保护样品和阀门；

j)      外置 0.5μm 过滤器，去除水、油和颗粒物；

k)     内置0.5~0.3μm过滤器，高效去除颗粒物污染；

l)      带刻度的微型计量阀门控制LCO2 流量；

m)    操作参数可重复设定，确保结果可重复性；

产品特点 LCD 触屏控制，全自动操作 样品室尺寸 2.5"(内径)×1.25"(深) 样品室容积 100 ml 设备尺寸 31.5（高） x 39.3（宽） x 58.2（长） cm 温度压力范围 - 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~2000 psi
  • 产品特点
  • 产品参数

a)      不适于无尘室；

b)      LCD触屏控制，全自动操作;

c)      手动、自动和预设模式；

d)      可用于SEM、TEM、MEMS等多种样品处理；

e)      内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；

f)      多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用；

g)      样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态；

h)      内置过滤系统，保护样品和阀门；

i)       外置0.5μm过滤器，去除水、油和颗粒物；

j)       带刻度的微型计量阀门控制LCO2流量；

k)      操作参数可重复设定，确保结果可重复性；


产品特点 LCD 触屏控制，全自动操作 样品室尺寸 2.5"(内径)×1.25"(深) 样品室容积 100 ml 设备尺寸 31.5（高） x 39.3（宽） x 58.2（长） cm 温度范围 - 30 ℃ ~ 60 ℃
压力范围 0~2500psi
  • 产品特点
  • 产品参数

a)      LCD高清触摸屏；

b)      手动、自动、循环模式;

c)  专为微机电系统（MEMS）制备而设计的桌面式全自动临界点干燥仪，无尘室适用；

d)      用于 SEM、TEM、MEMS 等多种样品处理；

e)      标配 2"晶圆架和10mm方形芯片架；

f) 最大可处理2英寸晶圆，每次最多可处理5个；
g) 垂直样品室，样品室底部设有照明灯，样品室盖带观察窗，便于观察；

h) 循环模式可设置CO2置换次数，适用于各种较难干燥样品； i)  内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性； j)  慢速冲液功能，适用于各种易损样品； k) 外部双T型0.5μm颗粒过滤器，以及0.1μm内部过滤器系统，确保过滤后的LCO2到样品室颗粒物直径在0.1μm以内；

l) 带刻度的微型计量阀门控制LCO2 流量；

m) 标配样品室填块，可调整样品室内径到1.25",使LCO2的使用效率和处理时间达到最大化；

n) 操作参数可重复设定，确保结果的可重复性；

产品特点 LCD 触屏控制，全自动操作 样品室尺寸 2.5"(内径)×1.25"(深) 样品室容积 100 ml 设备尺寸 60.5cm (宽) × 80.3 cm (深) × 126.7 cm (高) 温度范围 -30 ℃ ~ 60 ℃
压力范围 0~2500psi
  • 产品特点
  • 产品参数

a)      LCD高清触摸屏；

b)      手动、自动、循环模式;

c)  专为微机电系统（MEMS）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用；

d)      也可用于 SEM、TEM、MEMS 等多种样品处理；

e)      标配HF相容的8",6", 4", 3", 2"晶圆架和10mm方形芯片架；

f) 最大可处理8英寸晶圆，每次最多可处理5个；
g) 垂直样品室，样品室底部设有照明灯，样品室盖带观察窗，便于观察；

h) 循环模式可设置CO2置换次数，适用于凝胶类等较难干燥样品； i)  内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性； j)  慢速冲液功能，适用于各种易损样品； k) 外部双T型0.2μm颗粒过滤器，以及0.1μm内部过滤器系统，确保过滤后的LCO2到样品室颗粒物直径在0.2μm以内；

l) 带刻度的微型计量阀门控制LCO2 流量；

m) 标配有不少于5个样品室填块，样品室填块可以调整样品室内径到6", 4", 3", 2",1.25",使LCO2的使用效率和处理时间达到最大化；

n) 内置冷凝分离器，用于分离乙醇、异丙醇、丙酮等废液和气体二氧化碳，降低排气噪音；

o) 内置样品室制冷系统；

p)      操作参数可重复设定，确保结果可重复性；

产品特点 LCD 触屏控制，全自动操作 样品室尺寸 8.5"(内径)×1.25"(深) 样品室容积 1162 ml 设备尺寸 60.5cm (宽) × 80.3 cm (深) × 126.7 cm (高) 温度压力范围 -30 ℃ ~ 60 ℃
压力范围 0 ~2500 psi
CPD VIDEO
打造精湛的仪器设备
HARVENT不断的努力和积累，建立了完善的工作和服务流程，在HARVENT，每一个项目都有专门的团队负责，根据客户的要求，为不同 领域的专家、学者量身定制专有临界点干燥仪设备，全程跟踪指导仪器设备的应用，彻底做到领域精英。
高标准/高效率/高要求/高质量
High Standard/High Efficiency/High Requirement/High Quality
APPLICATIONS
应用领域
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MEMS Applications
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苏州第六工坊电子科技有限公司本着“客户至上，服务为本”的长期服务理念，从销售、安装、测试、保养、维修等售后服务，我们永远给客户充足的信息资讯与技术支持，因此在业界获得良好的口碑及信誉度。公司全面吸收国内外同类产品在超临界干燥领域的新技术，坚持科技创新，以人文为中心，能为客户量身定制的较高品质的仪器设备。
苏州第六工坊电子科技有限公司拥有专业资深的设计研发精英团队；经验丰富、服务好的售后服务队伍；技术精湛、精益求精的生产和安装技术队伍；严谨科学的质量管理体系。保证所生产的“仪器设备”具有高品质、高科技含量的特征。我们将一如既往的孜孜追求、努力不懈，用创新、创高、创精的产品回报用户，服务社会。
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